الماء فائق النقاء ضروري لشطف الرقاقة وتنظيف الرقائق والحفر والطباعة الحجرية الضوئية وغيرها من عمليات تصنيع أشباه الموصلات. حتى مستويات التتبع من الأملاح أو الجسيمات أو المواد العضوية أو الكائنات الحية الدقيقة قد تلوث أسطح الرقاقة وتقلل من إنتاجية المنتج.

A مصممة بشكل صحيح نظام المياه فائقة النقاء لتصنيع أشباه الموصلات يجمع بين المعالجة المسبقة ، التناضح العكسي ، EDI والتلميع النهائي لتوفير مياه مستقرة عالية النقاء عند نقطة الإنتاج.

لماذا يتطلب تصنيع أشباه الموصلات مياه فائقة النقاء

أثناء إنتاج أشباه الموصلات ، يتلامس الماء مباشرة مع الرقائق والمكونات الإلكترونية. قد تحتوي المياه غير المعالجة على:

• الأملاح الذائبة والسيليكا
• الجسيمات الدقيقة
• الملوثات العضوية
• البكتيريا والسموم الداخلية
• الغازات المذابة
• تتبع المعادن

يمكن أن تترك هذه الشوائب بقايا على أسطح الرقاقة أو تتداخل مع عمليات التصنيع الحساسة.

ASTM D5127 يوفر إرشادات جودة المياه للإلكترونيات وتصنيع أشباه الموصلات. يجب اختيار النقاء المطلوب وفقًا لعملية الإنتاج وقياسه عند نقطة التوزيع.

 

نموذجي أشباه الموصلات عملية المياه فائقة النقاء

العملية النموذجية هي:

المياه الخام → المعالجة المسبقة → Double-Pass RO → EDI → UV Sterilization / TOC Reduction → Polishing Unit → Final Filter → Ultrapure Water Tank → Circulation Loop

المعالجة المسبقة

المعالجة المسبقة تزيل المواد الصلبة العالقة والكلور والصلابة والمواد العضوية. اعتمادًا على جودة المياه الخام ، قد تشمل:

• الوسائط المتعددة أو نظام الترشيح الفائق
• تنقية الكربون المنشط
• تليين المياه أو الجرعات antiscalant
• خرطوشة الترشيح

المعالجة المستقرة تحمي أغشية RO وتقلل من صيانة النظام.

 

مزدوجة تمرير التناضح العكسي

المزدوج تمرير رو يزيل معظم الأملاح الذائبة ، السيليكا ، صلابة والملوثات العضوية. كما أنه يوفر تغذية مناسبة لوحدة إدي المصب.

بالمقارنة مع RO أحادي التمرير ، يوفر RO مزدوج التمرير عادةً موصلية أقل وجودة مياه أكثر استقرارًا لإنتاج أشباه الموصلات والإلكترونيات.

 

EDI Polishing

انEDI نظام المياه فائقة النقاء يزيل باستمرار الأيونات المتبقية من RO تتخلل.

يمكن أن تنتج EDI مياه عالية النقاء دون تجديد متكرر للأحماض والقلويات. يمكن لوحدات EDI الصناعية تحقيق مقاومة للماء المنتج تصل إلى حوالي 18 MΩ · cm تحت ظروف التغذية والتشغيل المناسبة ، وفقًا لتصميم النظام المحدد.

 

تلميع النهائي والتوزيع

بالنسبة للتطبيقات عالية النقاء ، قد يشمل العلاج الإضافي ما يلي:

• أكسدة الأشعة فوق البنفسجية للحد من TOC
• تلميع السرير المختلط
• التفريغ الغشائي
• الترشيح الفائق النهائي
• خزان تخزين صحي
• حلقة الدوران المستمر

نظام التوزيع لا يقل أهمية عن معدات التنقية. قد يتسبب التصميم السيئ للأنابيب أو الأجزاء الراكدة أو المواد غير المناسبة في تلوث ثانوي قبل وصول المياه إلى خط الإنتاج.

 

أهداف نوعية المياه النموذجية

معامل	هدف التصميم النموذجي
المقاومة النوعية	تصل إلى 18.2 MΩ · سم عند 25 درجة مئوية
التوصيل	وصولا إلى حوالي 0.055 μS / سم
جدول المحتويات	حسب الطلب وفقا لعملية
السيليكا	منخفض جدا أو مستوى التتبع
الجسيمات	تسيطر عليها وفقا لعملية رقاقة
الكائنات الدقيقة	رقابة صارمة

هذه القيم هي مراجع عامة. يجب أن يعتمد المعيار النهائي على عملية أشباه الموصلات ومتطلبات الرقاقة ومواصفات نقطة الاستخدام.

 

اعتبارات التصميم الرئيسية

A موثوقة RO EDI نظام المياه فائقة النقاء للنباتات أشباه الموصلات ينبغي النظر:

جودة المياه الخام

يجب تصميم النظام وفقًا لـ TDS والصلابة والسيليكا و TOC والعكارة ومستويات الميكروبات. مطلوب تحليل كامل للمياه قبل اختيار المعدات.

 

القدرة المطلوبة

يجب أن تشمل السعة الطلب على الإنتاج ، واستهلاك الذروة ، وتدفق الدورة الدموية ، وتنظيف المياه والتوسع المستقبلي. قد يؤدي اختيار المعدات وفقًا لمتوسط الطلب اليومي فقط إلى عدم كفاية العرض أثناء ذروة الإنتاج.

 

عملية مستمرة مستقرة

تتطلب مصانع أشباه الموصلات عادة إمدادات مياه مستمرة ومستقرة. تشمل الخيارات الموصى بها ما يلي:

• التحكم PLC التلقائي
• مراقبة المقاومة عبر الإنترنت
• TOC ومراقبة التدفق
• مضخات العمل والاحتياطية
• نظام إنذار تلقائي
• المراقبة عن بعد
• وحدات المعالجة الاحتياطية

 

حلقة التوزيع

يجب أن تدور المياه فائقة النقاء بشكل مستمر من خلال خط أنابيب مصمم بشكل صحيح. يمكن اختيار أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ أو أنابيب البوليمر عالية النقاء وفقًا لمعيار المياه المطلوب وميزانية المشروع.

 

التطبيقات

تستخدم أنظمة المياه فائقة النقاء لأشباه الموصلات والإلكترونيات بشكل شائع من أجل:

• أشباه الموصلات رقاقة الشطف
• تصنيع الدوائر المتكاملة
• إنتاج PCB
• تنظيف الإلكترونيات الدقيقة
• تصنيع الصمام
• إنتاج الخلايا الضوئية
• مكونات إلكترونية دقيقة
• مختبر عملية المياه

عرض لدينا حلول معالجة المياه أشباه الموصلاتوتطبيقات معالجة المياه مصنع الالكترونيات لتكوينات النظام ذات الصلة.

 

تكوينات اختيارية

Zhongnuo يمكن تخصيص أنظمة المياه فائقة النقاء أشباه الموصلات مع:

• تمريرة واحدة أو تمريرة مزدوجة RO
• EDI polishing
• التعقيم بالأشعة فوق البنفسجية وخفض TOC
• سرير مختلط التبادل الأيوني
• التفريغ الغشائي
• الترشيح الفائق النهائي
• التنظيف التلقائي CIP
• مراقبة الموصلية والمقاومة عبر الإنترنت
• تداول الضغط المستمر
• التحكم PLC التلقائي بالكامل

 

المعلومات المطلوبة للحصول على الاقتباس

لإعداد حل دقيق ، يرجى تقديم:

1. تقرير تحليل المياه الخام
2. القدرة المائية فائقة النقاء المطلوبة
3. المقاومة المطلوبة أو الموصلية
4. TOC ، السيليكا ومتطلبات الجسيمات
5. ساعات العمل اليومية
6. تطبيق المياه النهائي
7. الجهد المحلي والتردد
8. مساحة التثبيت المتاحة
9. متطلبات حلقة التوزيع

 

أسئلة مكررة

هل مياه التناضح العكسي كافية لتصنيع أشباه الموصلات ؟

قد تكون مياه التناضح العكسي مناسبة لتنظيف الإلكترونيات العامة ، ولكن عمليات أشباه الموصلات المتقدمة تتطلب عادة التبادل الإلكتروني للبيانات وتلميع إضافي لتحقيق مستويات أيونية وعضوية وجسيمات أقل.

 

لماذا يتم استخدام التمرير المزدوج RO قبل EDI ؟

يعمل التمرير المزدوج RO على تقليل الأملاح والسيليكا وثاني أكسيد الكربون التي تدخل وحدة التبادل الإلكتروني للبيانات ، مما يساعد على تحسين استقرار مياه المنتج وعمر تشغيل التبادل الإلكتروني للبيانات.

 

يمكن لنظام EDI تنتج 18.2 MΩ · سم المياه ؟

EDI يمكن أن تنتج المياه تقترب من 18 MΩ · سم تحت ظروف تغذية مناسبة. قد يتطلب تحقيق استقرار 18.2 MΩ · cm من الماء عند نقطة الاستخدام تلميع إضافي وحلقة دوران مصممة بشكل صحيح.

 

كيف يتم حساب قدرة النظام ؟

يجب أن تستند السعة إلى ذروة الطلب في الساعة ، وتحولات الإنتاج ، واستهلاك التنظيف ، ومتطلبات الدوران ، وتوسيع المصنع في المستقبل.

 

استنتاج

فعالة نظام المياه فائقة النقاء لتصنيع أشباه الموصلات يتطلب أكثر من رو و إدي المعدات. المعالجة المسبقة ، تلميع النهائي ، الرصد عبر الإنترنت وحلقة التوزيع يجب أن تعمل معا للحفاظ على نوعية المياه مستقرة.

الاتصال Zhongnuo معالجة المياه لتصميم نظام المياه فائقة النقاء أشباه الموصلات والاقتباس.